台积电美国新厂揭密 川流不息“银色高速公路”曝光

台积电上传美国亚利桑那州新厂内部运作影片，让外界一窥这座北美最先进的晶圆制造基地神秘面纱，当中不仅有ASML造价昂贵的Twinscan NXE极紫外光（EUV）微影设备，在厂区天花板川流不息、运送晶圆的载具“天车”形成的“银色高速公路”，更是一大吸睛亮点。

台积电在这段长达2分21秒的影片中，为美国新厂大揭密，秀出数百台高科技设备井然有序地生产芯片，镇厂之宝无疑是ASML的Twinscan NXE极紫外光微影设备，用于产生英伟达Blackwell B300等高端处理器中最复杂的电路。

这段影片让外界可以见到台积电这座名为Fab 21的一期厂区内部，影片一开始显示的是一条穿越无尘室的路径，室内以黄色照明为主，这种灯光能过滤较短波长的光线，防止光刻机意外曝光。目前Fab 21正在逐步提升采4nm、5nm制程的芯片制造能力。

接着画面出现所谓的“银色高速公路”，即台积电的自动化物流搬运系统，由悬挂式轨道组成，用来运送装载12英寸晶圆的前开式晶圆传送盒。画面中可见数百个晶圆传送盒同步移动，展现晶圆在晶圆厂内精密且高效率的物流运作，这对于在高产能制造环境下维持流程时序非常重要。

这条“银色高速公路”即业界俗称的“天车”，其正式名为“OHT空中走行式无人搬运车（Overhead Hoist Transfer）”，是一种高架搬送系统，它能有效地利用厂房立体空间，在不占用人员走道的前提下，将无尘室内的空间使用率最大化。

台积电2021年时透露，当时厂区内的天车一天行走的距离，就可以绕地球20圈。这个距离大约等于从中国台湾最北端至最南端走2,000次。随着美日等地新厂投产，台积电天车的数量大幅增加。